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260 ## $a New York : $b American Institute of Physics, $c c1994.
300 ## $a 845 p. : $b il. ; $c 24 cm.
440 #0 $a American Vacuum Society classics
504 ## $a Incluye referencias bibliográficas (p. 761-816) e índice.
020 ## $a 1563962594
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856 41 $3 Tabla de contenidos $u http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0815/93027399-t.html

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